Toliau pateikiami silicio rezonansinių slėgio jutiklių pranašumai ir trūkumai, palyginti su kitais įprastais slėgio jutiklių tipais:
Privalumai
Didelis tikslumas:Silicio rezonansinio slėgio jutikliai yra pagrįsti rezonatorių vibracijos principu. Jie apskaičiuoja slėgio vertę, matuodami slėgio poveikį rezonatorių vibracijos dažniui. Šis matavimo metodas leidžia jiems pasiekti itin didelę skiriamąją gebą ir matavimo tikslumą. Paprastai tikslumas gali siekti 0,01% ar net daugiau, o tai yra 1–2 eilėmis didesnis nei tradicinių slėgio jutiklių, tokių kaip deformacijos matuoklio tipas ir pjezorezistinis tipas. Jis gali atitikti įvairius aukšto- tikslumo matavimo reikalavimus, pavyzdžiui, tiksliai išmatuoti tokius parametrus kaip statinis slėgis ir oro greitis orlaivio oro duomenų sistemoje aviacijos ir erdvės srityje.
Didelis stabilumas:Pati silicio medžiaga pasižymi dideliu elastingumu ir dideliu stabilumu. Be to, vidinė jutiklio struktūra yra paprasta, be mechaninių judančių dalių ir nėra lengvai paveikta tokių veiksnių kaip susidėvėjimas ir nuovargis. Todėl jis pasižymi ilgalaikiu-stabiliumu ir patikimumu. Jo nereikia kalibruoti penkerius eksploatavimo metus iš eilės, o temperatūros ir statinio slėgio įtakos galima nepaisyti. Jis tinka pritaikymo scenarijams, kuriems keliami itin aukšti stabilumo reikalavimai, pavyzdžiui, chemijos gamybos procesų valdymas pramoninėje automatikoje.
Stiprus anti{0}}trukdymas:Išvestis yra dažnio signalas. Šis skaitmeninis signalas nėra lengvai veikiamas išorinių veiksnių, tokių kaip elektromagnetiniai trukdžiai. Palyginti su kai kuriais slėgio jutikliais, kurie išveda analoginius signalus, jis gali tiksliau perduoti matavimo duomenis sudėtingose elektromagnetinėse aplinkose ir gali būti naudojamas aplinkoje, kurioje yra santykinai stiprūs elektromagnetiniai trukdžiai, pavyzdžiui, automobilių variklio skyriuje.
Mažas energijos suvartojimas:Dėl paprastos vidinės struktūros ir sudėtingų mechaninių judesių ar daug -energiją-naudojančių komponentų nebuvimo, jo energijos sąnaudos yra labai mažos. Tai labai naudinga kai kuriems nešiojamiesiems įrenginiams, maitinamiems iš baterijų, arba sistemoms, kurioms taikomi griežti energijos suvartojimo reikalavimai, pvz., taikoma nešiojamiesiems medicininiams stebėjimo prietaisams.
Mažas dydis, lengvas svoris ir lengvas integravimas:Silicio rezonansiniai slėgio jutikliai naudoja mikro{0}}nano gamybos procesus, kurie gali realizuoti slėgio matavimo funkciją palyginti nedideliu dydžiu. Be to, juos lengva integruoti su kitais elektroniniais komponentais ar sistemomis, jie gali patenkinti įvairių miniatiūrinių ir lengvų įrenginių poreikius.
Trūkumai
Didesnės išlaidos:Silicio rezonansinių slėgio jutiklių gamybos procesas yra gana sudėtingas. Tam reikalingos labai-tikslios mikro-nano apdorojimo technologijos ir specialios medžiagos, todėl gamybos sąnaudos yra gana didelės, o produktų kainos – brangesnės. Tai tam tikru mastu riboja jos reklamą kai kuriose didelės-scenarijose, kurios yra jautrios kainai, pvz., įprastuose buitiniuose plataus vartojimo elektronikos gaminiuose.
Ribotas matavimo diapazonas:Palyginti su kai kuriais slėgio jutikliais, kurių matavimo diapazonas yra platus, silicio rezonansinių slėgio jutiklių matavimo diapazonas yra gana siauras. Paprastai jis tinka vidutinio ir žemo slėgio diapazonams matuoti. Kai kuriuose specialiuose taikymo scenarijuose, kai reikia išmatuoti itin aukštą arba itin žemą slėgį, jis gali neatitikti reikalavimų. Pvz., yra apribojimų tokiose programose kaip giluminio-jūros aukšto-slėgio aptikimas arba itin-aukšto vakuumo aplinkos matavimas.
Jautrus temperatūros pokyčiams:Nors patys silicio rezonansiniai slėgio jutikliai turi gana gerą temperatūros stabilumą, jie vis tiek gali būti paveikti tam tikromis ekstremaliomis temperatūros sąlygomis. Be to, jų temperatūros kompensavimo technologija yra gana sudėtinga, todėl norint užtikrinti matavimo tikslumą plačiame temperatūrų diapazone, reikia tikslesnių temperatūros kompensavimo grandinių ar algoritmų, o tai padidina sistemos sudėtingumą ir kainą.
Sudėtingi sužadinimo ir aptikimo metodai:Silicis neturi pjezoelektros, todėl gana sunku pasiekti rezonanso sužadinimą ir priėmimą. Reikia taikyti specialius sužadinimo metodus, tokius kaip elektrostatinis sužadinimas, elektromagnetinis sužadinimas ir termoelektrinis sužadinimas, taip pat atitinkamus aptikimo būdus. Šių sužadinimo ir aptikimo metodų įgyvendinimas yra gana sudėtingas, o tai padidina jutiklio projektavimo ir gamybos sunkumus, taip pat kelia aukštesnius reikalavimus jo patikimumui ir stabilumui.