Silicio rezonansiniai slėgio jutikliaiišsiskirti didelio{0}}tikslumo matavimo srityje dėl savo unikalaus slėgio-dažnio konversijos principo ir silicio -pagrindo medžiagų savybių. Tačiau, palyginti su kitų tipų jutikliais (pavyzdžiui, pjezorezistiniais, talpiniais, pjezoelektriniais, vibruojančiais laidais ir kt.), jų pranašumai kyla dėl techninių principų ir konstrukcijos skirtumų. Konkretūs palyginimai yra tokie:
1. Tikslumo privalumai principo lygmeniu
Slėgio-dažnio keitimas su būdingu atsparumu triukšmui: tiesiogiai išvesti skaitmeninius signalus (dažnio kiekius) per silicio rezonansinės struktūros dažnio pokyčius, išvengiant analoginio-į-skaitmeninio konvertavimo klaidų, signalo stiprinimo triukšmo ir ilgo-laidinio perdavimo nuostolių, atsirandančių dėl tradicinių pjezorezistinių (pacinės įtampos jutiklių) arba. Dažnio signalo atsparumas elektromagnetiniams trukdžiams yra ypač stiprus (pvz., atsparumas radijo dažnio trukdžiams 100 V/m), o tikslumas gali siekti 0,01 % FS (tuo tarpu pjezorezistiniai jutikliai paprastai turi nuo 0,1 % FS iki 0,5 % FS).
Puikus tiesiškumas ir pakartojamumas: silicio rezonansinės struktūros įtempių{0}}dažnio atsako tiesiškumas yra didesnis nei 0,9999, o netiesinė paklaida yra mažesnė nei 0,01 %FS, o tai yra daug pranašesnė už talpinius jutiklius (kurių netiesinė paklaida yra apytiksliai 0,1 % FS) ir pjezorezistiniai jutikliai, kuriems reikalingas netiesinis pataisymas.
2. Medžiagų ir struktūrinis stabilumas
Silicio -pagrindo medžiagų temperatūros charakteristikos: silicio šiluminio plėtimosi koeficientas yra itin mažas (2,6×10⁻⁶/laipsnis), o tamprumo modulis mažai kinta priklausomai nuo temperatūros (pokytis nuo -50 laipsnių iki +125 laipsnių yra mažesnis nei 5 %). Sukūrus simetrinius dvigubus rezonatorius (temperatūros skirtumo kompensacija), temperatūros jautrumą galima sumažinti iki 1×10⁻⁶/laipsnio, o tai leidžia tiksliai kompensuoti be papildomų temperatūros jutiklių (pjezorezistinių jutiklių temperatūros poslinkis paprastai yra didesnis nei 100×10⁻⁶/laipsnis).
Kietasis{0}}kūnas be judančių dalių: integruota rezonansinio pluošto / diafragmos struktūra, pagaminta naudojant MEMS technologiją, neturi mechaninio kontakto ar sandariklių senėjimo problemų. Metinis dreifo rodiklis yra mažesnis nei 0,01 % FS (metinis vibruojančių laidų jutiklių dreifas yra apie 0,05 % FS, o talpinių jutiklių dar didesnis), todėl jis tinkamas ilgalaikiam- stabiliam stebėjimui (pavyzdžiui, aviacijos atmosferos duomenų sistema turi patikimai veikti dešimtmečius).
3. Skaitmeninė išvestis ir išmaniosios charakteristikos
Tiesioginė skaitmeninio signalo išvestis: dažnio signalą gali tiesiogiai surinkti mikroprocesorius, nereikalaujant sudėtingų signalo kondicionavimo grandinių, supaprastinant sistemos dizainą ir sumažinant triukšmo atsiradimo riziką (priešingai, pjezorezistinius jutiklius reikia pritaikyti ADC grandinėms ir jie yra pažeidžiami maitinimo šaltinio triukšmo).
Į-lusto savaiminio-kalibravimo galimybė: integruotas-MCU arba ASIC gali pasiekti galios-savaime-patikrinimą ir periodinį savęs-kalibravimą (pavyzdžiui, lyginant su kvarco atskaitos dažniu), automatiškai koreguojant ilgalaikį-laikinį jutiklio poslinkį, nereikalaujant reguliaraus kalibravimo.
4. Dinaminis atsakas ir raiška
Didelė Q vertė ir didelė skiriamoji geba: vakuuminis įpakavimas (atmosferos slėgis < 10⁻3Pa) suteikia rezonatoriui kokybės koeficientą Q > 10 000, o slėgio skiriamoji geba gali siekti 0,001 hPa (0,1 Pa), tinkama matuoti nedidelius slėgio pokyčius (pvz., aptikti vertikalų atmosferos aukštį), toli pranokstančią jutiklių raišką (apytikriai apytiksliai apytiksliai pa jutikliai (kurių skiriamoji geba apie 0,1hPa).
Platus dinaminis diapazonas: dėl konstrukcijos dizaino jis gali apimti diapazoną nuo mikro{0}}slėgio (0–1 kPa) iki vidutinio-aukšto slėgio (0–10 MPa) ir išlaikyti aukštą tikslumą visame diapazone (tradiciniams jutikliams kuo platesnis diapazonas, tuo akivaizdesnis tikslumo sumažėjimas).
Pagrindiniai silicio rezonansinių slėgio jutiklių pranašumai yra „didelis tikslumas, didelis stabilumas ir skaitmeninės charakteristikos“. Techniškai esmė yra konvertuoti slėgio matavimo paklaidą iš „klaidų daugia-analoginio signalo grandinėje“ į „vieno dažnio matavimo klaidas“, naudojant „silicio-rezonansinės struktūros + slėgio-dažnio konversiją“, ir pasiekti klaidų slopinimą optimizuojant visą medžiagų, struktūrų ir algoritmų grandį.